公开/公告号CN202165063U
专利类型实用新型
公开/公告日2012-03-14
原文格式PDF
申请/专利权人 中国石油天然气股份有限公司;
申请/专利号CN201120240454.8
申请日2011-07-08
分类号
代理机构北京市中实友知识产权代理有限责任公司;
代理人李玉明
地址 100007 北京市东城区东直门北大街9号中国石油大厦
入库时间 2022-08-21 23:27:29
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-03-14
授权
授权
机译: 用于光刻的抗反射膜的含硫酯的组合物
机译: 含硫原子的组合物,用于形成光刻抗反射膜
机译: 用于光刻的抗反射膜的含硫酯的组合物