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多级电离产生低能量高密度等离子体的装置

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摘要

本实用新型提出了一种多级电离产生低能量高密度等离子体装置。装置分三级：第一级由针尖电极与金属棒电极组成，第二级由筒状金属电极与金属棒电极组成，第三级由金属网电极与金属棒电极组成。多级电离产生低能量高密度等离子体方法：通入5～50m

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2013-02-27

避免重复授权放弃专利权 IPC(主分类):H05H1/30 授权公告日:20120104 放弃生效日:20130227 申请日:20110408

避免重复授权放弃专利权
2012-01-04

授权

授权

1. 多级电离产生低能量高密度等离子体的装置及方法 [P] . 中国专利： CN102149247B . 2012.10.10
2. 多级电离产生低能量高密度等离子体的装置及方法 [P] . 中国专利： CN102149247A . 2011-08-10
3. LOW-CURRENT HIGH-DENSITY PLASMA NITRIDING METHOD AND LOW-CURRENT HIGH-DENSITY PLASMA NITRIDING DEVICE [P] . 日本专利： JP2008308759A . 2008-12-25

机译：低电流高密度等离子体氮化方法及低电流高密度等离子体氮化装置
4. METHODS AND APPARATUS FOR GENERATING HIGH-DENSITY PLASMAS WITH IONIZATIONAL INSTABILITIES [P] . 世界知识产权组织专利： WO2005084087A3 . 2008-09-12

机译：产生具有电离不稳定的高密度等离子体的方法和装置
5. METHODS AND APPARATUS FOR GENERATING HIGH-DENSITY PLASMAS WITH IONIZATIONAL INSTABILITIES [P] . 世界知识产权组织专利： WO2005084087A2 . 2005-09-09

机译：产生具有电离不稳定的高密度等离子体的方法和装置