法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2014-06-25
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):F16B47/00 授权公告日:20111221 终止日期:20130506 申请日:20110506
专利权的终止
2011-12-21
授权
授权
机译: 电容式静电吸盘,用于制造例如半导体,在陶瓷板之一上具有气体分配网络,并且密封层可分离且持久地固定用于密封气体分配网络的陶瓷板
机译: 吸盘安装座,用于将物体安装在瓷砖壁的刚性底座的光滑表面上,压力帽压到圆周边缘,吸盘位于边缘和帽盖支撑密封圈的圆形肋之间的直径区域
机译: 用于支撑表面的固定装置,具有由一种或多种材料制成的吸盘,并且吸盘与相邻环境之间的过渡部分由与气体通道相对的设备密封