大气传输单元及具有该大气传输单元的晶片传输系统

摘要

本实用新型提供了一种大气传输单元，包括用于水平传送晶片的大气机械手以及用于对放置在所述大气机械手上的晶片的位置进行校准的晶片位置校准器，还包括第一风扇过滤器和出风口；所述第一风扇过滤器靠近所述晶片位置校准器而设置于所述大气传输单元的侧壁的上部，用于导入大气传输单元外部的对晶片表面进行水平吹扫的气体；且所述出风口设置于所述大气传输单元的底部，用于导出吹扫后携带有被吹扫掉颗粒的气体。该大气传输单元内的气体既可以有效地对附着在晶片表面的颗粒进行吹扫，还可以有效地避免吹扫气体中夹杂的颗粒在晶片的传输过程中沉积到晶片上，从而减少晶片表面的污染物对后续工艺的影响，以提高产品良率。