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一种薄膜表面低压等离子体连续化处理设备

摘要

本实用新型涉及一种薄膜表面低压等离子体连续化处理设备,包括位于左右两侧的左导向轮、右导向轮、左真空器及右真空器,其特征在于:在左下主动压辊上连接有左传动装置,在右下主动压辊上连接有右传动装置,在左上从动压辊及左下主动压辊上连接有左压辊轴心调整装置,在右上从动压辊及右下主动压辊上连接有右压辊轴心调整装置。本实用新型真正意义上地实现了动真空;保证了等离子处理的顺利进行。本实用新型对于不同厚度的薄膜表面低压等离子连续化处理的适应性良好,保证薄膜在处理过程中不会出现粘粘和破损,它结构简单,操作方便,工艺流程短,处理效果好。

著录项

  • 公开/公告号CN201808216U

    专利类型实用新型

  • 公开/公告日2011-04-27

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 东华大学;

    申请/专利号CN201020553242.0

  • 申请日2010-10-09

  • 分类号

  • 代理机构上海申汇专利代理有限公司;

  • 代理人翁若莹

  • 地址 201620 上海市松江区人民北路2999号

  • 入库时间 2022-08-21 23:18:08

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2014-12-03

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B29C59/14 授权公告日:20110427 终止日期:20131009 申请日:20101009

    专利权的终止

  • 2011-04-27

    授权

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