用于多晶硅生产中的金属粉末烧结滤芯过滤器

摘要

本实用新型提供一种用于多晶硅生产中的金属粉末烧结滤芯过滤器，该过滤器包括过滤器壳体、进料管和出料管以及反吹气储气罐，在所述过滤器壳体内设置有金属粉末烧结滤芯，以将所述壳体内的空间分隔为进料空间和出料空间，所述进料管连通到所述进料空间，所述出料管连通到所述出料空间。所述反吹气储气罐通过反吹管连接到所述出料空间。该过滤器能够满足多晶硅生产中的各种工况要求和工艺处理要求、运行稳定、操作维护简单。