公开/公告号CN201678448U
专利类型实用新型
公开/公告日2010-12-22
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN201020130266.5
发明设计人 王东海;
申请日2010-03-12
分类号C01B21/04(20060101);G01L11/00(20060101);
代理机构上海思微知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人屈蘅;李时云
地址 201203 上海市张江路18号
入库时间 2022-08-21 23:14:52
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-03-10
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C01B21/04 授权公告日:20101222 终止日期:20190312 申请日:20100312
专利权的终止
2013-03-27
专利权的转移 IPC(主分类):C01B21/04 变更前: 变更后: 登记生效日:20130306 申请日:20100312
专利申请权、专利权的转移
2010-12-22
授权
授权
机译: 蓄热器燃烧和氧化装置使用开放/关闭装置打开有害气体管道清洁气体管道和吹扫气体管道,关闭有害气体管道清洁气体管道和吹扫气体管道
机译: 用气体或混合气的气体块撞击冲洗部分的装置,具有压缩气体管路,在压缩气体管路之后还可以选择设置排水装置和过滤器装置
机译: 混合气体吹扫装置和具有该混合气体吹扫装置的废气气化熔融炉,混合气体吹制方法以及使用该装置的废气气化熔融方法