公开/公告号CN201464367U
专利类型实用新型
公开/公告日2010-05-12
原文格式PDF
申请/专利权人 北京卓立汉光仪器有限公司;
申请/专利号CN200920110696.8
申请日2009-08-06
分类号
代理机构北京三友知识产权代理有限公司;
代理人任默闻
地址 101149 北京市通州区八里桥南街5号电信科学技术仪表研究所主楼二层
入库时间 2022-08-21 23:09:11
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-08-30
专利权有效期届满 IPC(主分类):G01N21/65 授权公告日:20100512 申请日:20090806
专利权的终止
2010-05-12
授权
授权
机译: 用于扫描仪型投影照明系统的照明透镜,例如用于极紫外微光刻的步进机,在辐射源和位置之间的紫外线辐射的光路中布置了校正元件
机译: 紫外和可见光光学系统的色差校正具有分束器,用于将可见光与紫外光分开,并在可见光路径中附加了校正透镜
机译: 用于机动车辆外部光的照明装置的光控制系统,具有布置在光路中的光学元件,以便在材料损坏之前保护连接表面,并且在紫外线区域包括吸收光谱