图案形成装置、利用其制造的设备及具有该设备的电子设备

摘要

本实用新型的目的在于提供一种图案形成装置，其可灵活对应量少品种多的生产，且容易将光滑、无缺陷的图案形成在所希望的位置上，在图案形成装置(155)上设置：液体材料涂布机构(110)，在基板(100)上涂布液体材料(130)；和激光处理机构(120)，向基板(100)上涂布的液体材料照射激光(121)使其固定化；并且液体材料涂布机构(110)中设有液体材料供给部(113)，液体材料供给部(113)上形成有通过液体材料(130)与基板(100)接触的开口部(114)，在激光处理机构中设有将激光照射到照射目标点(131)的照射部，从液体材料供给部(113)的开口部向基板(100)涂布液体材料，将该基板(100)上涂布的液体材料通过由照射部照射的激光逐次处理、固定化。