法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-11-27
专利权有效期届满 IPC(主分类):B66F19/00 授权公告日:20090826 申请日:20081103
专利权的终止
2011-09-28
专利权的转移 IPC(主分类):B66F19/00 变更前: 变更后:
专利申请权、专利权的转移
2009-08-26
授权
授权
机译: 小位移量测量方法及小位移量测量装置
机译: 将大的线性位移转换为小线性位移的装置及其测量方法
机译: 小位移元件,使用该位移元件的扫描隧道显微镜以及信息处理装置