一种可整体植入真空室的离子束源装置

摘要

一种可整体植入真空室的离子束源装置，其主法兰前侧的放电室后端法兰、放电室筒体、阳极筒、灯丝、离子引出组件及连接件均置于金属外罩中，装在主法兰上的陶瓷电极的后端置于金属后罩中，陶瓷电极与真空引出法兰的连接线用金属软管套住，有效防止了离子束源工作时线间、线地间的打火现象，既满足了大型工件的离子束微细加工的要求，也使设备整体尺寸缩小。