公开/公告号CN201035355Y
专利类型
公开/公告日2008-03-12
原文格式PDF
申请/专利权人 上海申瑞电力科技股份有限公司;
申请/专利号CN200720070118.7
发明设计人 杨浩赟;
申请日2007-05-23
分类号
代理机构上海申汇专利代理有限公司;
代理人林炜
地址 200233 上海市徐汇区桂平路481号15号楼6楼6C1室
入库时间 2022-08-21 22:57:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-07-27
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G05B19/04 授权公告日:20080312 终止日期:20100523 申请日:20070523
专利权的终止
2008-03-12
授权
授权
机译: 用于为此目的而设计的新的控制装置和自动化系统来代替自动化系统中的现有控制装置的方法和自动化系统
机译: 用于诸如极端紫外线(EUV)投影曝光系统的投影曝光系统的微机械或微机电装置,具有温度控制装置,该温度控制装置设置有气体供应单元和排气单元
机译: 小型综合控制装置