法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2011-02-02
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01J43/04 授权公告日:20071121 终止日期:20091218 申请日:20061118
专利权的终止
2007-11-21
授权
授权
机译: 一种用于大面积放射性测量的探测器
机译: 一种改进的大面积光电探测器
机译: 一种用于制造显示器的基板的自动临界尺寸测量的方法,一种用于检查用于制造显示器的大面积基板的方法,一种用于检查用于制造显示器的大面积基板的装置,以及操作方法