通过波长变化进行面形检测的相移干涉仪

摘要

本实用新型提供了一种不使用机械相移方式进行相移测量的面形检测相移干涉仪，通过波长变化进行面形检测的相移干涉仪，依次连接有标准镜、成像系统、准直系统、扩束聚焦系统、激光器模块、计算机和图像采集系统，其中准直系统还与图像采集系统相连，所述激光器模块采用波长可调谐激光器。本实用新型通过改变可调谐激光器波长的方式，使干涉仪的干涉条纹产生系列相位移动，进而计算出原始的波面相位，不需要移动干涉仪任何器件，就能实现稳定、可靠和高精度的测量，特别适合于大口径干涉仪。