等离子体化学气相沉积法金刚石涂层的温度测量装置

摘要

一种等离子体化学气相沉积法金刚石涂层的温度测量装置，属于金刚石涂层技术领域。包括：阴极部分、真空室、真空泵系统、压力测控装置、电源、阴极杆、阴极体、阳极、直流电弧弧柱、制品架、磁场线圈。在拉长的直流电弧弧柱(9)的周围装置有一金属圆环(14)，金属圆环(14)和其上焊接的异类金属导体(15)都具有较大的热容量；在圆周方向上，金属圆环(14)和其上的异类导体(15)间隔90度设置，保证其对设备几何中心的高度对称性。本实用新型的优点在于：利用结构上高度对称、同时又有较大的热容量的组合式温度测量装置，可克服使用直流电弧等离子体化学气相沉积装置对大量工件进行金刚石涂层时，涂层的沉积温度难于测量的技术难题。