多组分扩散管标准气体动态配气装置

摘要

多组分扩散管标准气体动态配气装置，包括气源、稳压阀、质量流量计等，气源与稳压阀和气体纯化器连接，气体纯化器分别与两个质量流量计连接，质量流量计分别与玻璃集气管和多个转子流量计连接，多个转子流量计放入各组分扩散管中，各组分扩散管和玻璃集气管置于恒温槽内，玻璃集气管与多个转子流量计及玻璃气体混合器连接，玻璃气体混合器与标准气体定量取样系统及多余气体排空阀连接，本实用新型的优点是采用多组分扩散管动态配气装置能一次配制多种组分标准混合气体，配制准确，稳定性好，用该装置产生的挥发性、腐蚀性、吸附性标准气体是低浓度(1×10