多种气体检漏分析仪

摘要

本实用新型公开了一种多种气体检漏分析仪，包括四极质谱室和电子控制箱，质谱室的壳体安装有离子泵、进样阀门和抽真空阀门，离子泵和进样阀门、抽真空阀门均与质谱室联通，抽真空阀门连接有法兰接头，所述的法兰接头还连接有由分子泵、机械泵、电磁阀、真空计组成的真空检漏系统。本实用新型采用了四极质谱技术，可以检测全部常用气体，包括各种冷媒、惰性气体、SF6、CO、甲烷等，从而可以利用多种气体示踪进行检漏，打破了氦质谱检漏仪监测单一气体的局限性。