公开/公告号CN2798949Y
专利类型
公开/公告日2006-07-26
原文格式PDF
申请/专利权人 明輝光源科技(深圳)有限公司;
申请/专利号CN200520054611.0
发明设计人 袁仕杰;
申请日2005-02-03
分类号
代理机构北京银龙知识产权代理有限公司;
代理人张敬强
地址 518103 广东省深圳市宝安区福永镇桥头村1号
入库时间 2022-08-21 22:51:18
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-04-18
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):A61L9/00 授权公告日:20060726 终止日期:20110203 申请日:20050203
专利权的终止
2006-07-26
授权
授权
机译: 用于极端紫外线照射的面膜空白,用于极端紫外线照射的面膜,用于极端紫外线照射的面膜的制造方法以及使用用于极端紫外线照射的面膜的图案转移方法
机译: 用于镜子的极端紫外线,用于镜子制造方法的极端紫外线和极端紫外线产生装置
机译: 极端紫外线光源装置,用于极端紫外线光源装置的激光光源装置以及用于极端紫外线光源装置的饱和吸收器控制方法