二维相移云纹干涉仪

摘要

本实用新型公开了一种二维相移云纹干涉仪，包括了底座、激光器、扩束镜、非球面分光装置、被测物，激光器、扩束镜、非球面分光装置、被测物均依次置于光路中，激光器发出的光依次经过扩束镜、非球面分光装置后投射到被测物上，激光器、扩束镜、非球面分光装置、被测物均设于底座上。该干涉仪较传统的云纹干涉仪的测量灵敏度有较大的提高，同时，使得仪器的结构更为紧凑，便于携带，能解决工程中的静态、准动态及动态问题，具有良好地应用前景。