法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2008-04-09
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2005-09-28
授权
授权
机译: 用于测试从管子上切下的环的设备,确定测试环是否正确安装在测试室中的方法以及用于测试管子和管测试器的方法
机译: 用于真空室的载体,用于在真空室,真空处理系统中测试转移装置的系统,真空处理系统和用于在真空室中测试转移装置的方法
机译: 用于真空室的载体,用于测试真空室中的运输布置的系统,真空处理系统以及用于测试真空室中的运输布置的方法