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一种适应不同样品的镀膜机工件架

摘要

本实用新型涉及镀膜技术,具体地说是一种适应不同样品的镀膜机工件架。包括:公转磁力转轴、工件架升降机构、自转磁力转轴、工件架升降平台,其中带有样品的样品工件架插装键连在工件架升降平台的中轴支架上,由电动机驱动的自转磁力转轴穿过工件架升降平台通过自转齿轮与平面样品工件架安装在一起,所述工件架升降机构由电动机驱动,通过支架杆依次经螺纹连接的轴套、波纹管、导向器接至工件架升降平台底部。本实用新型工件架采用双轴两侧引入,平面样品和柱面样品工件架可快速更换,适应范围广。

著录项

  • 公开/公告号CN2679166Y

    专利类型

  • 公开/公告日2005-02-16

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 中国科学院沈阳科学仪器研制中心;

    申请/专利号CN200420030026.2

  • 发明设计人 李向新;

    申请日2004-01-07

  • 分类号C23C14/50;

  • 代理机构沈阳科苑专利商标代理有限公司;

  • 代理人许宗富

  • 地址 110004 辽宁省沈阳市和平区三好街96号

  • 入库时间 2022-08-21 22:48:00

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2007-02-28

    专利权的终止未缴年费专利权终止

    专利权的终止未缴年费专利权终止

  • 2005-02-16

    授权

    授权

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