掠入射软X射线和极紫外线平场谱仪

摘要

本实用新型涉及一种掠入射软X射线和极紫外线平场谱仪，该谱仪主要由光学系统、真空系统、图像采集系统、支撑系统等组成；光学系统主要由超环面镜、狭缝、平场光栅等组成。该谱仪灵敏度高，摄谱范围大，图像采集系统中使用CCD相机，可实现空间分辨光谱的实时采集；该谱仪中各光学元件都安装在相应的精密调节装置上，稳定性好，结构紧凑，精度高，调节方便，操作简单、高效；该谱仪各部件之间耦合精度高，工作稳定可靠；整个谱仪通过模拟光源进行调节，调节方法简单，使用方便；该谱仪可广泛用于热等离子体的无干扰诊断。