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树脂表面硬化方法、表面硬化树脂及生产设备和树脂基片

摘要

本申请公开了一种用于树脂的表面硬化方法和表面硬化的树脂,能够在短时间内以低的能量改善塑料盘基片的表面;还公开了这种树脂的生产设备。以等于或者低于20KeV的能量把每平方厘米具有等于或者多于10

著录项

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2007-09-12

    专利权的终止未缴年费专利权终止

    专利权的终止未缴年费专利权终止

  • 2005-04-20

    授权

    授权

  • 2001-06-06

    实质审查请求的生效

    实质审查请求的生效

  • 2000-03-29

    公开

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