公开/公告号CN2429989Y
专利类型
公开/公告日2001-05-09
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院等离子体物理研究所;
申请/专利号CN00220256.5
申请日2000-05-15
分类号H05H1/18;H05B6/72;
代理机构安徽合肥大夏专利事务所;
代理人季晟
地址 230031 安徽省合肥市1126信箱中国科学院等离子体物理研究所
入库时间 2022-08-21 22:41:42
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2003-06-25
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
2001-05-09
授权
授权
机译: 用于这种等离子体源的波等离子体天线以及利用这种等离子体源进行空间表面的等离子体再离子化和等离子体中和的方法
机译: 螺旋波等离子体源,用于这种等离子体源的天线以及使用这种等离子体源进行等离子体清洁或中和空间表面的方法
机译: 具有感应天线的等离子反应器,该感应天线可在内部产生螺旋波