相干激光气体压力变化高精度监测仪

摘要

本实用新型涉及一种利用激光相干叠加原理,通过测量两束激光相干强度在空间某一点变化的方法,根据气体压强与折射率的关系,监测光学气体腔压力变化的仪器。本实用新型的恒温箱内有分束器,此分束器在激光器和光学气体腔之间。通过连接管道、光学气体腔同被测系统联接。在分束器和激光输出强度探测器之间有另一分束器。在光学气体腔和激光干涉强度探测器之间,安装有狭缝。本实用新型适用于任何压强下的气压变化,测量范围大,测量精度高,可达毫帕斯卡数量级。