物理量检测装置和物理量检测装置的控制方法、异常诊断系统和异常诊断方法

摘要

角速度检测装置(1)(物理量检测装置的一例)具有：陀螺仪传感器元件(100)(物理量检测元件的一例)，其使检测电极产生与角速度(物理量的一例)的大小对应的检测信号和基于驱动信号(矩形波电压信号22)的振动的泄漏信号；驱动电路(20)，其生成驱动信号；同步检波电路(350)，其根据与驱动信号同步的检波信号(34)，针对包含检测信号和泄漏信号的被检波信号(36)进行同步检波；以及相位变更电路(352)，其根据控制信号(64)，变更检波信号(34)的上升沿和下降沿中的至少一方相对于被检波信号(36)的相对定时，使得通过同步检波输出泄漏信号的至少一部分。