用于扩散硅力敏传感器的微压放大器

摘要

一种用于提高扩散硅力敏传感器测试灵敏度的微压力放大器，是用两个直径不同的波纹管筒体制成密封腔体，其内部都充满传压介质硅油，使之内腔与传感器中的硅油相连通，而外腔与测点相连通。测点的微压引起外腔受张，而内腔也按一定比例增大此微压的附加张力，并在传感器的量程中得到显示，从而实现用中低压量程传感器量测微压(差)信号，拓宽该力敏传感器的应用范围。