微机化干涉扫描微位移测量仪

摘要

一种微机化干涉扫描微位移测量仪器，属于长度计量技术领域。本实用新型根据扫描干涉仪原理，采用三光束射入单一的法布里·白洛干涉仪，分别判别位移的方向、整数和小数，使测量量程提高了一倍。同时采用了压电扫描非线性补偿装置，光准直系统，光导纤维，斜光束干涉聚光镜，微膨胀合金结构和微机提高了精度和测量自动化。本实用新型可使量程达100微米，精度达0.005微米，可用于块规检定，物理量测试，地震研究及同步辐射实验。