法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
1993-03-10
专利权的终止未缴年费专利权终止
专利权的终止未缴年费专利权终止
1990-08-08
授权
授权
1989-12-06
公开
公开
机译: 微机电装置,微机电装置阵列,光调制装置,微机电光调制装置,微机电光调制装置阵列以及使用其的图像形成设备
机译: 微机电装置,微机电装置阵列,光调制装置,微机电光调制装置,微机电光调制装置阵列以及使用其的图像形成设备
机译: 微机电装置,微机电装置的阵列,制造微机电装置的方法以及操作微机电装置的方法