法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
1989-12-13
专利权的终止
专利权的终止
1988-10-19
授权
授权
1988-01-06
公开
公开
机译: 用于控制微机械致动器的控制器,特别是用于微机械致动器的微机械致动器,控制系统,微机械系统以及控制微机械致动器的方法
机译: 用于控制微机械致动器的控制器,特别是微机电系统,控制系统,微机电系统以及用于控制微机械致动器的方法
机译: 用于控制微机械致动器的控制器,用于控制微机械致动器的控制系统,微镜系统和用于驱动微机械致动器的方法