定温式热偶真空计

摘要

定温式热偶真空计，属于非电量电测仪器。热偶真空计通常以定流方式工作，其测量气压上限小于1托。为了扩大测量气压的上限，使热偶工作于定温方式，把气压变化引起的热电动势变化通过反馈通道控制热偶的加热电流，并以加热电流的大小来度量被测气压。为了隔离热偶加热电流回路与热电动势回路的直流公共端，反馈通道中利用光电耦合环节。用RC校正网络消除灯丝闪烁现象。本定温式热偶真空计测量范围达10-5托至25托，热电动势的变化小于±0.6％。