基于角锥棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置

摘要

基于角锥棱镜的对角入射光激光外差干涉测量方法与装置属于激光应用技术领域；发明方法采用了两束具有不同频率的空间分离平行光，两平行光束在非偏振分光棱镜上的入射点位于入射面的对角线上，并关于入射面的中心点对称，并采用角锥棱镜作为参考棱镜和测量棱镜；该方法最终产生了两个具有相反多普勒频移的干涉测量信号来进行干涉测量；本发明方法及装置对被测目标的倾斜不敏感，消除了干涉仪中的频率混叠现象，提高了外差干涉测量的测量精度，同时将外差干涉测量的分辨率提高了一倍。