一种回收废铝刻蚀液中磷酸的方法

摘要

本发明公开了一种回收废铝刻蚀液中磷酸的方法。该方法，包括如下步骤：1)将废铝刻蚀液进行减压蒸馏，使所述废铝刻蚀液中的硫酸和硝酸挥发出来，收集馏出液；2)将步骤1)所得馏出液进行结晶，收集结晶体，完成所述废铝刻蚀液中磷酸的回收。该方法能对铝刻蚀液总的磷资源通过蒸馏浓缩重结晶等一套方案实现回收，最终得到电子级磷酸，可循环回用于TFT-LCD的铝刻蚀生产中，该方法收率高，操作性强，可满足大规模生产需要，最大程度的实现资源循环再利用。