光学伺服比较式大量程绝对位置传感器系统

摘要

本发明公开了一种光学伺服比较式大量程绝对位置传感器系统。包括两套偏振光检测系统，被测位移引起机械转换结构中的第一圆轮转动，带动第一套检偏系统中的起偏器转过一个角度，发光元件的光束分别通过起偏器和双检偏器到达两个光电检偏元件，其输出端分别接到比较放大器的两输入端，经信号处理与控制装置、电机驱动器接步进电机驱动圆轮，使双检偏器转过与起偏器相同的角度；信号处理与控制装置同时提供位移测量系统的检测与显示输出信号。第二套检偏系统中，第三圆轮与第一检偏系统中的第一圆轮啮合或摩擦耦合，使第二起偏器旋转后和多检偏器间得到一个正比于被测位移的转角，光电检测元件检测到光强信号后，输出到信号处理与控制装置，使系统具有绝对位置检测能力。