法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-23
授权
授权
2013-10-16
实质审查的生效 IPC(主分类):G05B13/04 申请日:20130603
实质审查的生效
2013-09-11
公开
公开
机译: 激光干涉系统装置和使用对准激光装置的激光干涉系统装置
机译: 使用曝光系统的装置,具有台架装置的上述曝光系统,具有台架装置的上述曝光系统,具有使用波长补偿器和上述波长的激光干涉测量装置的台架装置以及上述激光干涉测量装置的制造方式为零。
机译: 激光干涉长度测量装置的绝对位置测量方法和激光干涉长度测量装置