公开/公告号CN102842522B
专利类型发明专利
公开/公告日2016-03-02
原文格式PDF
申请/专利权人 东京毅力科创株式会社;
申请/专利号CN201210169691.9
申请日2012-05-28
分类号
代理机构北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人刘新宇
地址 日本东京都
入库时间 2022-08-23 09:36:14
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2016-03-02
授权
授权
2014-01-08
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/67 申请日:20120528
实质审查的生效
2012-12-26
公开
公开
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