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用于同步离子屏蔽质量分离器的驱动设备

摘要

本发明描述和示出一种用于同步离子屏蔽质量分离器的驱动设备,具有参考振荡器(1)、直接数字合成器(2)、低通滤波器(3)和比较器(4),其中同步离子屏蔽质量分离器具有梳形分离电极(6),其中参考振荡器(1)给直接数字合成器(2)提供参考频率,由直接数字合成器(2)产生的输出信号由低通滤波器(3)滤波并且低通滤波器(3)的输出信号由比较器(4)处理。根据本发明,通过如下方式实现可灵活使用的和成本低的驱动设备:由可编程元件(11)把比较器(4)的输出信号转换为与梳形分离电极(6)的齿(7)的数目相应的数目的输出信号。

著录项

  • 公开/公告号CN102768935B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-03-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 克洛纳测量技术有限公司;

    申请/专利号CN201210149468.8

  • 发明设计人 M·戴尔曼;M·格丁;

    申请日2012-03-30

  • 分类号

  • 代理机构中国专利代理(香港)有限公司;

  • 代理人臧永杰

  • 地址 德国杜伊斯堡

  • 入库时间 2022-08-23 09:36:06

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2016-03-02

    授权

    授权

  • 2013-08-28

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01J49/02 申请日:20120330

    实质审查的生效

  • 2012-11-07

    公开

    公开

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