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一种利用纳秒脉冲激光熔覆制备涂层的方法及其装置

摘要

本发明公开了一种利用纳秒脉冲激光熔覆制备涂层的方法及其装置,属于材料表面激光熔覆制备涂层技术领域,目的在于解决现有纳秒脉冲激光熔覆中存在的问题。本发明通过在工件表面MOCVD沉积金属的同时,采用纳秒激光扫描工件表面,从而使金属熔覆在工件表面上,在工件表面上形成微米或亚微米级别厚度的涂层。本发明对基底材料无特殊要求,适用范围广,能满足平面工件和异形工件涂层制备的需要,制备的薄膜膜层具有致密、厚度可控(微米或者亚微米)、膜基结合牢固的优点,同时加工后工件的表面粗糙度不低于熔覆前,无需磨抛等二次加工,能够降低生产成本,同时采用本发明加工后,工件不变形,能够满足精密工件的加工需求。

著录项

  • 公开/公告号CN103849872B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2016-03-02

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 四川材料与工艺研究所;

    申请/专利号CN201410121125.X

  • 申请日2014-03-28

  • 分类号C23C26/02(20060101);C23C16/18(20060101);C23C16/02(20060101);

  • 代理机构51214 成都九鼎天元知识产权代理有限公司;

  • 代理人卿诚;吴彦峰

  • 地址 621700 四川省绵阳市江油市华丰新村9号

  • 入库时间 2022-08-23 09:35:43

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-03-19

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):C23C26/02 授权公告日:20160302 终止日期:20180328 申请日:20140328

    专利权的终止

  • 2016-03-02

    授权

    授权

  • 2014-07-09

    实质审查的生效 IPC(主分类):C23C26/02 申请日:20140328

    实质审查的生效

  • 2014-06-11

    公开

    公开

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