束流传输系统及其束流传输方法

摘要

本发明公开了一种束流传输系统及其束流传输方法，其包括一束流出射装置、一作为束流传输终点的目标工件，所述束流传输系统还包括相互平行地设置于束流传输路径两侧的一第一杆状永磁铁与一第二杆状永磁铁，所述第一杆状永磁铁和第二杆状永磁铁的N极和S极的连线方向与所述第一杆状永磁铁的长度方向相同，并且设置有一个或多个相互独立的第一线圈组，每个所述第一线圈组均具有两个第一线圈，其中每个所述第一线圈组的两个第一线圈分别设置于所述第一杆状永磁铁和所述第二杆状永磁铁的长度方向上的相同位置。本发明的束流传输系统及其束流传输方法中采用一对永磁铁来节省能源，而且减少了外部对束流传输系统的影响因素，提高了可靠性。