低温泵、低温泵的再生方法及低温泵的控制装置

摘要

本发明提供一种低温泵、低温泵的再生方法及低温泵的控制装置，其具备以有助于升温时间的缩短化的方式配置的少量温度传感器。低温泵（10）具备：1级板（20），其通过制冷机（16）的1级冷却台（22）冷却；2级板（18），其通过制冷机的2级冷却台（24）冷却；板温度传感器（94、96），其设置于1级板及2级板中的至少一方；冷却台温度传感器（90、92），其设置于1级冷却台及2级冷却台中的至少一方；及控制部（100），其控制基于冷却台温度传感器的测定温度的真空排气。控制部控制包含低温板的升温工序的再生，且专门在再生中使用板温度传感器的测定温度。控制部基于板温度传感器的测定温度来完成升温工序。