法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2017-08-11
专利权的转移 IPC(主分类):C23C14/22 登记生效日:20170725 变更前: 变更后: 申请日:20140410
专利申请权、专利权的转移
2016-02-10
授权
授权
2014-08-06
实质审查的生效 IPC(主分类):C23C14/22 申请日:20140410
实质审查的生效
2014-07-09
公开
公开
机译: 操作高真空扩散泵的方法和用于执行该方法的高扩散泵真空
机译: 用于实现此过程的高真空扩散泵和高真空扩散泵的操作方法
机译: 具有高真空扩散的泵的操作方法,以及用于此过程的高真空扩散泵的操作方法