一种切削刀具材料表面的Ti/TiN/TiAlN复合镀层及其制备方法

摘要

本发明公开了一种切削刀具材料表面的Ti/TiN/TiAlN复合镀层及其制备方法，包括下述步骤：（1）将切削刀具材料表面进行清洗；（2）利用离子镀设备依次镀覆Ti层、TiN层；（3）利用磁控溅射设备镀覆TiAlN层，得到Ti/TiN/TiAlN复合镀层。该Ti/TiN/TiAlN复合镀层表面相对平整，膜基结合力高，抗磨损性能好，有利于延长刀具的使用寿命；而且镀膜的加工质量高；制备工艺简单，易于操作，在镀膜过程中采用电气和机械自动控制，适于批量生产。