一种CrNx基成分梯度过渡的装饰防护涂层的制备方法

摘要

本发明公开了一种CrNx基成分梯度过渡的装饰防护涂层的制备方法，采用三对平面Cr靶作为相应Cr元素的来源，三对平面Cr靶均匀安装在离子源增强磁控溅射离子镀膜设备的内壁上，通过调整中频脉冲电源的电流控制上述三对平面Cr靶的溅射率；采用一个阳极层气体离子源，以提高气体的离化率和反应粒子的能量；采用高纯Ar作为靶材溅射气体；采用高纯N₂作为反应气体，通过阳极层气体离子源后使其离化并与靶材溅射下来的Cr粒子结合，在样品表面沉积形成三层结构的Cr底层/CrNx基梯度过渡层/CrN外层。具有表面光滑致密，涂层的显微硬度为Hv800，膜基结合力达到80N，当摩擦副为Al₂O₃球时，CrNx基涂层的干摩擦系数为0.35，中性盐雾实验的耐蚀性超过672小时。