法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-06-02
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01B11/02 授权公告日:20151125 终止日期:20190609 申请日:20130609
专利权的终止
2015-11-25
授权
授权
2013-11-06
实质审查的生效 IPC(主分类):G01B11/02 申请日:20130609
实质审查的生效
2013-10-09
公开
公开
机译: 垂直腔表面发射激光器和多波长表面发射激光器的制造方法,垂直腔表面发射激光器,多波长表面发射激光器和光通信系统
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机译: 半导体元件,多波长半导体激光器,多波长半导体激光器模块,气体传感系统的制造方法以及半导体元件