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一种基于石英音叉探针的原子力显微镜的成像系统

摘要

本发明公开了一种基于石英音叉探针的原子力显微镜的成像系统,该系统中的AFM控制器分别通过线缆与图形显示器、压电陶瓷管扫描器、步进电机的驱动电路、反馈信号检测电路和扫描控制信号处理电路连接,实现电信号的传输;样品台上安装有探头限位座;探头限位座上方是圆形安装台,圆形安装台上安装有压电陶瓷管扫描器、位移调节组件、以及通过四根支撑柱支撑的电路安装箱。本发明设计的系统能够让学生了解到AFM的基本工作原理和成像系统的操作步骤,并使用成像系统观察样品的微观结构。在实验过程中,学生通过对成像系统的力传感元件—石英音叉探针的阻尼系数的测量,以及对双稳态现象的观察,能进一步加深对AFM力作用机制以及参数设置的理解。

著录项

  • 公开/公告号CN103808967B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2015-11-25

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 北京航空航天大学;

    申请/专利号CN201410060481.5

  • 发明设计人 李英姿;阳睿;李进;钱建强;李华;

    申请日2014-02-23

  • 分类号G01Q60/24(20100101);

  • 代理机构11121 北京永创新实专利事务所;

  • 代理人李有浩

  • 地址 100191 北京市海淀区学院路37号

  • 入库时间 2022-08-23 09:31:41

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-02-15

    未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01Q60/24 授权公告日:20151125 终止日期:20180223 申请日:20140223

    专利权的终止

  • 2015-11-25

    授权

    授权

  • 2014-06-25

    实质审查的生效 IPC(主分类):G01Q60/24 申请日:20140223

    实质审查的生效

  • 2014-05-21

    公开

    公开

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