用激光束切割非金属衬底的方法和装置

摘要

一种切割非金属衬底的装置和方法。一个激光束产生装置向在衬底内的切割路线产生第一激光束用来加热切割路线，形成一划痕线。激光束产生装置还产生第二激光束，它与第一激光束间隔一预定距离，沿第一激光束的发射路线形成一光栅。一冷却装置将一冷流体束施加在切割路线上形成一个裂缝，用一光栅切割非金属衬底，所以使光学系统简单化。在划痕线中产生一个大的张力，立刻完全切割厚的非金属衬底。