微气泡产生装置以及硅晶片清洁设备

摘要

提供一种微气泡产生装置以及硅晶片清洁设备，其能将清洁效果较高的具有较小气泡尺寸的微气泡供应到外面，并且其能使装置小型化且能提高其处理灵活性。微气泡产生装置1设有微气泡产生机构10以及将微气泡导向到外面的导出导管20。导出导管20设有扩宽部21和管部22，并且扩宽部21和管部22在导出导管20中彼此连接且相通。扩宽部具有将轴线Z作为中心轴线的空心圆柱形形状，并且具有底面23、24以及圆柱形的外周表面，并且经由扩宽部21的一个底面23通向微气泡产生机构10的喷嘴11，并且经由另一底面24通向管部22。与扩宽部21的微气泡的流道轴线Z垂直的横截面的面积大于与管部22的流道轴线Z垂直的横截面的面积。