粒子捕捉单元、该粒子捕捉单元的制造方法及基板处理装置

摘要

本发明提供一种粒子捕捉单元，能够防止排气效率降低。构成暴露于微粒(P)飞来的空间的微粒捕集单元(40)的第一捕集单元(40a)具备：由多个第一不锈钢(44a)构成的第一网状层(44)和由多个第二不锈钢(45a)构成的第二网状层(45)，第一不锈钢(44a)的粗细小于第二不锈钢(45a)的粗细，第一网状层(44)中的第一不锈钢(44a)的配置密度高于第二网状层(45)中的第二不锈钢(45a)的配置密度，第二网状层(45)介于第一网状层(44)与微粒(P)飞来的空间之间，通过烧结使第一网状层(44)与第二网状层(45)固化而互相接合。