一种波片加工过程中用于消除光学干涉效应的装置

摘要

本发明涉及一种波片加工过程中用于消除光学干涉效应的装置，其特征在于：它包括一光胶盘，所述光胶盘上光胶有一个以上待加工的波片，所述波片上设置有一平板玻璃，每一所述波片与所述平板玻璃接触处设置有一采用折射率匹配液制作的匹配层，所述平板玻璃上表面和光胶盘下表面分别设置有一层增透膜。本发明可以广泛应用于波片的加工检测过程中。