用于检测透明平板的局部缺陷的装置和方法

摘要

本发明提供用于检测透明平板的局部缺陷的装置，包括：面阵相机(3)；镜头(5)，镜头可沿着竖直方向移动以调整从镜头到面阵相机的像距；可形成明场反射的准直光源(11)；可形成暗场反射的低角度环形光源(13)；以及可形成明场透射的背光散射光源(15)。本发明还提供用于检测透明平板的局部缺陷的方法。根据本发明的装置和方法不仅能够识别透明平板的各种局部缺陷，而且能够确定局部缺陷的三维位置。